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FEMAG超純單晶硅區熔法解決方案.pdf

普通的單晶硅晶體生長方法或多或少都會引入少量雜質,但是區熔法是一種比較特殊的高純度單晶生長技術。由于其本身也是一種提純的方法,因此用區熔法來制備超純單晶硅非常適合。

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